GD spektroskopija je brzi postupak za analizu dubinskog profila vodljivih ili ne-vodljivih slojeva, koji se temelji na principu ionskog raspršivanja površine (ion sputtering) i istodobnog mjerenja elementarnog sastava s metodama optičke emisione spektrometrije ili TOF spektrometrije masa.
Metoda omogućuje kvantitativnu elementarnu analizu sastava slojeva s nanometarskom rezolucijom dubine i proučavanje difuznih procesa u međuslojevima, korozije, i slično.
Naš partner: HoribaScientific
Za više detalja: http://www.horiba.com/scientific/products/plasma-profiling-tofms/